単結晶シリコンウェーハおよびインゴットのX線配向
単結晶シリコンウェーハおよびインゴットのX線配向
単結晶シリコンウェーハおよびインゴットのX線配向
単結晶インゴット/ウェーハ用
A、C、R、M面
自動方向調整
素早い飛行機の検出
データの保存と出力が可能&注意;
YX-Z自動ピーク検索
X線定位装置
機能:
X線自動配向装置は、X線回折原理に従って光、機械、電気を一体に統合して設計された一種の正確な装置であり、天然および人工結晶(圧電、光学、レーザー、などを含む)の結晶方向を高速に測定できます。半導体)、カッター、グラインダーなどの機器にも使用できます。 YXシリーズX線配向装置は、結晶部品の精密加工と製造に必要な装置で、あらゆる種類の結晶の配向に使用でき、結晶材料加工業界で広く使用されています。
特徴:
1. PLC制御技術が使用されています。高度に自動化されており、故障率が低く、高い抗推論機能と良好なシステム安定性を備えています。
2.すべて中国のヒューマンコンピュータインターフェイス、10インチTFTタッチパネル、ダイレクトインターフェースで操作が簡単。
3. タッチスクリーンまたはフットスイッチによる自動測定。
4. 自動キャリブレーションにより正確で便利です。自動スキャンを 10 回実行して平均値を取得できます。
5. さまざまな顧客の要件に応えます。 1点、2点、4点の測定モードを設定できます。
6. USBデータ出力インターフェースによる測定データの印刷機能を備えており、データをExcel形式に変換して保存し、パソコンで管理することができます。 &注意;&注意;
7。のメンテナンスと修理が容易なモジュール化された回路設計。
8. 自動シャッター制御。シャッターは、オペレーターを最大限に保護するために必要な場合にのみオンになります。
9. 測定精度と使いやすさを確保するために、さまざまなサンプルに応じてあらゆる種類の作業テーブルとサンプル治具をカスタマイズします。
10. ウェーハ、インゴットの自動測定が可能です。製品の適合率を高めるために、すべての加工段階で角度テストが適用されます。
技術目標:
&注意;(1) X線発生装置
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;入力電力:単相AC220V、50Hz、0.5KW
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;X線管:Cuターゲットアノード接地、強制空冷
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;管電圧:-30KVP、全電圧下でスイッチが閉じる;
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;管電流:0~5mA、連続調整可能;
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;頻度:合計周波数が0.5KWを超えないこと;
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;保護:HVインターロック、温度保護、自動シャッター;
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;統計検査精度:≤±10インチ
(標準石英板SIO2を使用、1011面)(私:13度20分)(2位:26度40分)
(2) 角度計器:
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;試料台の回転角度:私、0~+50°; &注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;
&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;リーダーの回転角度:2位、0°~+100°; &注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;
&注意;(3) タッチスクリーン:
角度の最小値:1インチ; &注意; &注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;
デジタルディスプレイ:程度、分、2番
角度調整:デジタル表示、すべての角度値をプリセット可能
(4)記録:
&注意;&注意;&注意;&注意;計数管:GJ5101ガイガー管、動作電圧0~1100V。 &注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;&注意;
&注意;&注意;&注意;&注意;強度表示;μAメーターは結晶の強度値を示します。
(5)外形寸法:1150(L)×650(で)×1500(H)
(6)重さ:約200Kg